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Bussiness

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반도체 장비 및 부품개조 전문기업, (주)레인테크를 소개합니다.

  • BLADE Repair & 제작
  • PLUNGER
  • LID HETER
  • TCR
  • VALVE류
  • VCE
  • HOIST

BLADE Repair & 제작

  • Problem

    1. End Effector Anodizing위에 Polymer로 인한 Particle issue 및 Wafer chucking error 발생

    2. ATM Robot End Effector (Blade) mapping sensor 감도 저하 및 Sensor 자체 문제로 인한 Mapping Fail로 인한 system down

    3. Blade Pad 발열에 의한 O-Ring 식각으로 인한 잦은 Vacuum Error 발생

  • Plan

    1. 국산화 및 Repair로 Cost 절감

    2. AMP Display 향상 및 Temp에 의한 Wafer Pad 효율성 증가

  • Benefits

    1. Cost 절감

    2. Particle reduction

    3. Productivity Improvement( system down time reduction)

    4. End Effector Teflon Coating

    5. Vespel 사용으로 인한 End Effector 사용기간 연장)

  • brooks blade repair

    적용설비 : 300MM LAM, AMAT

    1. repair01 <   BROOKS BLADE BACK   >
    2. repair02 <   BROOKS BLADE TOP   >

  • KAWASAKI BLADE REPAIR

    적용설비 : 300MM AMAT

    1. repair03 <   KAWASAKI BLADE BACK   >
    2. repair04 <   KAWASAKI BLADE TOP   >

  • YASKAWA BLADE REPAIR

    적용설비 : 300MM AMAT

    1. repair05 <   YASKAWA BLADE BACK   >
    2. repair06 <   YASKAWA BLADE TOP   >

PLUNGER OVERHAUL

적용설비 : 300MM LAM FLEX, FLEX45, D-SERIES

  1. repair01 <   FLEX45   >
  2. repair02 <   D-SERIES   >

AMAT HOIST REPAIR

적용설비 : 300MM AMAT

  • 제품 특징

  • Hoist Hook 이중 안전 연결 적용 , Wire Thickness Up-Grade(Coating시 외곽 파이는 동일) , 투명 Coating Wire

repair03

LID HETER REPAIR

적용설비 : 300MM AMAT POLY

  • 제품 특징

  • 1 Piece, 2 Piece, 3 Piece, 4 Piece Repair가능

  1. repair01 <   1 Piece   >
  2. repair02 <   2 Piece   >
  3. repair03 <   3 Piece   >
  4. repair04 <   4 Piece   >

TCR REPAIR

적용설비 : 300MM LAM POLY

repair01 repair02

반도체용 각종 VALVE류 Repair

  1. repair01 <   VAT Pendulum Valve   >
  2. repair02 <   Vacuum Isolation Valve   >
  3. repair03 <   2 Stage Vacuum Isolation Valve   >
  4. repair04 <   V-tex Valve   >
  5. repair05 <   Rocker Valve(VAT사)   >
  6. repair06 <   Slit Valve(VAT사)   >

  • 이외에도 반도체용 Valve류 다수 수리 가능.

VCE(Vacuum Cassette Elevator) Repair

적용설비 : 200,300MM ETCH,CVD 설비 등

  1. repair07 <   VCE(Vacuum Cassette Elevator)   >
  2. repair07 <   VCE & Cassette Stage   >
  3. repair07 <   Cassette Vacuum chamber   >
  4. repair07 <   VCE 테스트   >

  • OEM 부품(구매 불가품)은 대체품 사용.

  • Leak check 및 Calibration